專用圖形發(fā)生器組成:
高速數(shù)字信號處理器(DSP);
高精度圖形數(shù)據(jù)采集器;
先進(jìn)、快速的SCSI接口帶有溫控的16位數(shù)模轉(zhuǎn)換器(D/A)5”液晶跟蹤顯示器(LCD)控制用PC計(jì)算機(jī)(Windows操作系統(tǒng));
專用圖形發(fā)生器軟件功能:
接受GDSⅡ、CIF和DXF圖形數(shù)據(jù)格式;
繪圖功能(矩形、三角形、梯形、圓形、圓環(huán)、扇 形和任意曲線圖形);
加工過程控制(曝光、工件臺移動、束閘通斷);
掃描場位置、尺寸和旋轉(zhuǎn)修正;
標(biāo)記檢測與位置修正;
鄰近效應(yīng)修正;
加工過程跟蹤顯示;